El recobriment similar al diamant DLC és una pel·lícula fina amorfa metastable, que té les característiques d’alta qualitat del diamant i el grafit, i té els avantatges d’una bona duresa, conductivitat tèrmica, coeficient de fricció de baixa fricció, excel·lent rendiment d’aïllament elèctric, alta estabilitat química, etc., i s’utilitza àmpliament en la fabricació de maquinària, biomedicina, equips electrònics i altres camps. El recobriment DLC es prepara principalment mitjançant mètode d’acumulació de fase de vapor físic i mètode d’acumulació de fase de vapor químic i està fabricat per equips d’acumulació especials. A continuació, es mostra una breu introducció a les cinc parts que formen els equips de deposició de recobriment.
1. Sistema de calefacció i refrigeració d’aigua
El sistema de calefacció i el sistema de refrigeració d’aigua es distribueixen uniformement al voltant de la sala d’acumulació i la temperatura, la velocitat i el volum d’aigua de calefacció són controlables i regulables, i s’instal·la el dispositiu d’alarma corresponent; El sistema rotatiu es troba a la part inferior de la cambra d’acumulació i està aïllat per ceràmica aïllant i la velocitat de rotació és controlable i regulable.
2. Sistema de buit
El sistema de buit consisteix en una bomba mecànica, una bomba d’arrels, una bomba de difusió i les vàlvules de control corresponents i elements de mesura, que poden canviar lliurement entre el buit alt i baix segons els requisits del procés.
3. Sistema de subministrament de gas
El sistema de subministrament de gas es col·loca a la part superior de la cambra d’acumulació i les varietats de gas inclouen H2, N2, AR, CHA, C2H2 i gas que contenen SI, i dues interfícies es reserven a la part superior de la cambra d’acumulació per facilitar l’addició d’altres varietats de gasos en el futur.
Per obtenir la capa de transició que conté SI, SIH4 s’utilitza generalment com a gas material, però Sih4 és més perillós, de manera que escollim el gas menys perillós que conté Si com a font de SI en el processament del recobriment.
4. El sistema de destinació d’apilament
L’equip té dues unitats d’apilament, PVD i PCVD, la intenció principal de la unitat PCVD és per a l’acumulació de diamants (DLC), l’alimentació elèctrica és l’alimentació de modulació de pols, els paràmetres es poden ajustar després de l’altra, després de l’ajust dels paràmetres, el recobriment DLC de diferents dures i gruix Mode, també es pot recobrir a la peça complexa; Les intencions primàries de la unitat PVD són: (1) per a substrats diferents, es poden substituir diferents objectius per objectius diferents i es poden desenvolupar diferents capes adhesives o recobriments DLC dopats amb metall que contenen diferents varietats d’elements; (2) Després de substituir l'objectiu, es poden formar una varietat de recobriments compostos de "capa funcional + DLC" per a diferents categories.
5. Sistema de control elèctric
El sistema de control elèctric adopta un control actiu complet del PLC, inclòs ordinador hoste, controlador programable PLC, convertidor d’adaptació, subministrament d’alimentació de control, subministrament d’alimentació i mesurament de buit, sistema d’alimentació de subministrament d’aire, sistema de control de temperatura, refrigeració d’alimentació de detecció d’aigua, etc. Abans que s’obri el forn, el procés de recobriment s’editi i s’arxivi en la interfície d’edició del procés i el procés requerit es diu quan el forn s’obri i s’activi el equipament activat i s’utilitza l’equipament activat i s’utilitza l’equipament activat al forn i s’activi l’equip que s’utilitza activament al forn i s’activi l’equip que s’utilitza activament al forn necessari i que s’activi activament al forn necessari i que s’utilitzi activament. i controlat en temps real. Si hi ha algun problema, el dispositiu prendrà la iniciativa d’alarma i, segons el nivell d’alarma, el dispositiu seleccionarà la condició “d’espera” o s’aturarà directament i continuarà funcionant després d’eliminar l’alarma. Els registres d’operacions i els registres d’alarma de cada forn s’emmagatzemen activament a l’ordinador per fer una referència fàcil. Segons els requisits, els equips es poden canviar a un funcionament completament manual i els paràmetres de recobriment es poden ajustar a la interfície de funcionament principal durant el procés de recobriment.